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日本开发出在玻璃等脆硬材料上加工的新技术

东京工业大学理工学研究科的教授2003年6月开发出在玻璃、硅等脆硬材料上作微细的纵深方向加工的新技术。

脆硬材料容易破裂，但在长度不足1微米的速冻机情况下，材料表接杆面就会显示出光滑、不易破裂等特性。利用这种特性，就可以在纵深方向上作压制加工而保搅拌楼证不使其破裂。

学者们首先对进行纵向加工的钻石工具作了进一步加工。他们在工具尖端60微米见方的区域内制做出342个边长为1微米的四方突起，突起之间设有1.7微米的离子束（FIB）装计时中断置。所属行业实验时，他们使用这种工具对玻璃和硅的表面在几秒钟内施加1至5牛顿的压力，结果发现普通玻璃上出现了30我们很难用1个也许两个目标来阐明产物的功能究竟是好是坏0纳米深的小坑，且玻璃没有破裂。此外，利用这种方法在耐热玻璃和平面硅上也能压出分别为75和45纳米深的小坑。